名城大学附属図書館
ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • 新着アラート
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼

名城大学附属図書館

前の画面へ戻る

Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers

L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, J.M.J. Fréchet, editor ; based on a symposium cosponsored by the Division of Polymeric Materials, Science and Engineering and the Division of Polymer Chemistry, at the 187th Meeting of the American Chemical Society, St. Louis, Missouri, April 8-13, 1984. -- The Society, 1984. -- (ACS symposium series ; 266). <BB05001189>
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers

L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, J.M.J. Fréchet, editor ; based on a symposium cosponsored by the Division of Polymeric Materials, Science and Engineering and the Division of Polymer Chemistry, at the 187th Meeting of the American Chemical Society, St. Louis, Missouri, April 8-13, 1984. -- The Society, 1984. -- (ACS symposium series ; 266). <BB05001189>
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本館 1F 書庫 749.5/M425 20278709 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 1F 書庫
請求記号 749.5/M425
資料ID 20278709
状態
返却予定日
予約 0件
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 Materials for microlithography : radiation-sensitive polymers / L.F. Thompson, editor, C.G. Willson, editor, J.M.J. Fréchet, editor ; based on a symposium cosponsored by the Division of Polymeric Materials, Science and Engineering and the Division of Polymer Chemistry, at the 187th Meeting of the American Chemical Society, St. Louis, Missouri, April 8-13, 1984
出版・頒布事項 Washington, D.C. : The Society , 1984
形態事項 viii, 494 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0841208719
書誌構造リンク ACS symposium series <BB05219913> 266//a
その他の標題 異なりアクセスタイトル:Radiation-sensitive polymers
注記 Includes bibliographies and indexes
学情ID BA03230678
本文言語コード 英語
著者標目リンク Thompson, L. F., 1944- <AU00070583>
著者標目リンク Willson, C. G. (C. Grant), 1939- <AU00070584>
著者標目リンク Fréchet, J. M. J. <AU00070585>
著者標目リンク American Chemical Society. Division of Polymeric Materials : Science and Engineering <AU00070586>
著者標目リンク American Chemical Society. Division of Polymer Chemistry <AU00070588>
著者標目リンク American Chemical Society. Meeting (187th : 1984 : St. Louis, Mo.) <>
分類標目 LCC:TK7871.15.P6
分類標目 DC19:621.381/73
件名標目等 Polymers and polymerization -- Congresses
件名標目等 Photoresists -- Congresses
件名標目等 Microlithography -- Materials -- Congresses
件名標目等 Microelectronics -- Materials -- Congresses
このページのTOPへ
前の画面へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    購入依頼

    この書誌のQRコード