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Electron beam testing technology

edited by John T.L. Thong. -- Plenum Press, 1993. -- (Microdevices : physics and fabrication technologies). <BB05057551>
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Electron beam testing technology

edited by John T.L. Thong. -- Plenum Press, 1993. -- (Microdevices : physics and fabrication technologies). <BB05057551>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 本館 1F 書庫 549.2/T486 20671675 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 本館
配置場所 1F 書庫
請求記号 549.2/T486
資料ID 20671675
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Electron beam testing technology / edited by John T.L. Thong
出版・頒布事項 New York : Plenum Press , c1993
形態事項 xvi, 462 p. : ill. ; 26 cm
巻号情報
ISBN 0306443600
書誌構造リンク Microdevices : physics and fabrication technologies <BB05221516>//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA20783334
本文言語コード 英語
著者標目リンク Thong, John T. L. <AU00073275>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC20:621.3815/48
件名標目等 Semiconductors -- Testing
件名標目等 Electron beams -- Industrial applications
件名標目等 Scanning electron microscopes
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