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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic ; : pbk. -- 2nd ed. -- CRC Press, 2016. <BB05233035>
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Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication

Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic ; : pbk. -- 2nd ed. -- CRC Press, 2016. <BB05233035>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 : pbk 本館 1F 書庫 427.6/M235//A16 21257786 0件
No. 0001
巻号 : pbk
所蔵館 本館
配置場所 1F 書庫
請求記号 427.6/M235//A16
資料ID 21257786
状態
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Plasma electronics : applications in microelectronic device fabrication / Toshiaki Makabe, Zoran Lj. Petrovic
版事項 2nd ed
出版・頒布事項 Boca Raton, Fla. : CRC Press , 2016, c2015
形態事項 xxxv, 376 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
巻次等 : pbk
ISBN 9781138034150
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BC05797917
本文言語コード 英語
著者標目リンク *真壁, 利明||マカベ, トシアキ <AU00087602>
著者標目リンク Petrovic, Zoran Lj. <>
分類標目 DC23:621.044
件名標目等 Plasma engineering
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